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提供了一种新的体声波谐振器及其制造方法，包括：在衬底上形成第一外延层和第二外延层；在第二外延层上形成下电极层、压电层和上电极层；刻蚀形成多个释放孔，暴露第一外延层；通过多个释放孔，至少部分地去除第一外延层，形成谐振腔。依照本发明的BAW谐振...
该专利属于苏州汉天下电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉天下电子有限公司授权不得商用。

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