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一种用于发光显微镜查找芯片缺陷的芯片固定装置，将芯片背面朝上地置于发光显微镜下查找缺陷，其特征是：它包括：　　　　一个印有复数条电气连接线的印刷线路板；　　　　一个由透明材料制成的观察窗，设于该印刷线路板上；　　　　其中，该复数条电气连接线...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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