温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭露一种基板烘烤设备，包含：框架结构、机台本体、至少一加热装置、移载装置及风机。机台本体设置于框架结构，机台本体内具有烘烤通道，烘烤通道的两端为基板入口及基板出口，且机台本体的底部具有容置孔。加热装置能被控制以提升烘烤通道的温度。风机...
该专利属于群翊工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过群翊工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。