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本实用新型涉及一种晶圆绷紧环，包括：外环，所述外环包括第一环状体；内环，可拆卸地设置于所述第一环状体中，包括第二环状体；卡接结构，设置在所述外环和内环上以将所述外环和所述内环卡接；至少一个防呆结构，设置在所述外环和内环上以给所述外环套设所述...
该专利属于义柏科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过义柏科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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