下载导电腔传感器的技术资料

文档序号:2583448

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用导电腔传感器可以对粒子含量或单个粒子进行检测。导电腔传感器包括电介质包围的导电杆的二维周期性晶格,周期性晶格中的缺陷用作感测用容腔。...
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