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安捷伦科技有限公司
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导电腔传感器制造技术
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文档序号:2583448
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用导电腔传感器可以对粒子含量或单个粒子进行检测。导电腔传感器包括电介质包围的导电杆的二维周期性晶格,周期性晶格中的缺陷用作感测用容腔。...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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