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一种导波表面等离子体共振传感器制造技术
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文档序号:25832077
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本发明涉及一种导波表面等离子体共振传感器,包括:棱镜(1)、金属膜(2)、硅膜(3)、Franckeite层(4)和石墨烯层(5);所述金属膜(2)设置于所述棱镜(1)一侧面的表面上;所述硅膜(3)设置于所述金属膜(2)表面,所述Franc...
该专利属于燕山大学所有,仅供学习研究参考,未经过燕山大学授权不得商用。
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