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电容式加速度传感器及其控制方法、控制装置和电子设备制造方法及图纸
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文档序号:25800117
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本申请公开一种电容式加速度传感器及其控制方法、控制装置和电子设备,属于加速度传感器领域。电容式加速度传感器包括可移动的活动质量块、设置于活动质量块一侧的第一固定质量块和第一弹簧线圈,以及设置于活动质量块另一侧的第二固定质量块和第二弹簧线圈,...
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