下载具有压力泄放的真空泵排放簧片阀的技术资料

文档序号:25797342

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本申请涉及具有压力泄放的真空泵排放簧片阀。一种系统包括真空泵和联接到真空泵的排放簧片阀。排放簧片阀包括簧片阀密封件、刚性联接到真空泵的连接部分、以及刚性地联接到连接部分和主体的杆部分。簧片阀密封件界定密封表面和凹槽,该凹槽凹入密封表面以下。...
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