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一种薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法，属于精密机械领域。该装置利用两个压电陶瓷８分别从两个方向推动可沿滑轨２移动的滑块４与可调滑块３，滑块４及可调滑块３与支架１之间通过限位弹簧９进行限位，滑块４及可调滑块３上固接有的力传感臂６，力...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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