下载真空吸附模块的技术资料

文档序号:25761210

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本实用新型公开了一种真空吸附模块,包括:支撑块,形成有以阵列方式分布的多行多列连接气孔,每行连接气孔经由形成在支撑块内的一个分支气体通路连接至形成在支撑块内的总气体通路;载具,适于被安装和定位在支撑块上,形成有与支撑块上的连接气孔分别对应的...
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