下载光照射装置和光学构件的技术资料

文档序号:2576017

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本发明提供一种光照射装置,包括:透光板(31),将其中一面作为工件相向面(31a),朝向光照射对象即产品等工件(W)而设置且具有规定厚度;多个反射部(32),并排设置在所述透光板(31)的另一面上,使得光反射面朝向工件(W)侧,且所述反射部...
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