下载接合设备的技术资料

文档序号:25744842

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本申请公开了接合设备。接合设备包括第一台、第二台和辊构件,其中,第一台上布置有第一衬底,第二台上布置有与第一衬底面对的第二衬底,并且辊构件包括辊部和进气部。辊部包括在一个方向上延伸的内孔和连接内孔与外部空间的多个开口并且配置成通过按压第一衬...
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