下载实时一步双波长全息干涉检测装置的技术资料

文档序号:2567755

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本发明属于光学波面面形检测技术领域中的一种双波长全息干涉检测装置,它由检测光源(1)、起偏镜(2)和(3)、平面镜(4)、分束器(5)、扩束器(6)、分束器(7)、参考平面镜(8)、发射透镜(9)、偏振分束器(10)和(13)、平面镜(11...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械研究所授权不得商用。

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