温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种点衍射干涉仪，包括光源模块、可产生理想球面波的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件、图像传感器以及光学元件，将被测光学元件放置于所述掩模与光学衍射元件之间，所述光学元件可以全部透过部分级次的衍射光，而其中某一级次的衍射光的一...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。