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本实用新型公开了一种同步多级伸缩机构及PECVD设备，该同步多级伸缩机构包括：至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及固定组件，其固定所述伸缩...
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