下载使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法的技术资料

文档序号:2559706

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本发明公开了一种使用狭缝声波的SAW传感器装置及其方法。该使用狭缝声波的SAW传感器装置包括压电介质,其具有其一个部分处的薄膜,另一个部分处的介质,以及狭缝声波在其内部经过的窄狭缝;输入IDT,其被形成于压电介质的窄狭缝中的外部处,用于将电...
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