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一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计制造技术
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文档序号:25596811
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一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计,包括金属基和两个双端固支石英音叉,金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座,质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接;两个双端固支石英音叉结构相同,贴装于质量块和固定...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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