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本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，...
该专利属于江苏影速集成电路装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速集成电路装备股份有限公司授权不得商用。

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