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一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒制造技术
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文档序号:25530939
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本实用新型公开了一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒,它涉及真空磁控溅射镀膜设备技术领域。磁钢座装置均匀分成有多段,每段之间开设有槽,磁钢座装置装配在型腔装置内,型腔装置采用铝型材型腔,磁钢座装置与型腔装置之间通过调节杆连接,调节杆与型腔装置...
该专利属于上海子创镀膜技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海子创镀膜技术有限公司授权不得商用。
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