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本公开实施例公开了一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。其中，半导体设备的配置文件修改方法，包括：获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；从所述第一解析文件中获取标准配置项；响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；设置关联标...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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