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一种光学临近修正前的预处理方法、光学临近修正方法，预处理方法包括：提供原始图形，原始图形的线端为第一边，剩余边为第二边，两个邻边夹角为90°的顶点为凸角转角、夹角为270°的顶点为凹角转角；确定具有弱点的原始图形为待处理图形；对待处理图形进...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。