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本发明一种功率器件高温高压测试用探针卡及其关键结构属于半导体器件测试技术领域；该探针卡从上到下依次设置进气系统、PCB板、转接层、导引板和探针；进气系统底部具有多个下出气孔和侧出气孔，PCB板上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第一通...
该专利属于强一半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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