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本申请公开了一种椭偏测量装置及测量方法，包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构；样品台固定安装在基板上，样品台台面为平面；角度切换机构转动安装在基板上，角度切换机构的转动轴线位于检测面内；检测部件包括起偏臂和检偏臂，起偏臂和...
该专利属于北京量拓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京量拓科技有限公司授权不得商用。

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