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本发明提供了一种用于化学气相沉积处理的加热装置，包括：壳体，包围限定出腔室；载具，设于腔室中；加热组件，适于生发热量，以使得腔室中的温度升高；传热组件，设于腔室中，适于对来自加热组件的热量进行传导。本发明能够提高加热装置在加热时的温度均匀程...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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