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本发明提供一种阀控制装置，其可在切换成反馈控制后，使腔室压力迅速地朝目标压力收敛。阀控制装置(2)包括：设定压力生成部(20)，生成设定压力(Pset1)；以及开度控制部(21)，根据目标压力(Ps)来进行作为第一开度控制的打开控制，在第一...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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