下载一种MEMS封装体的分选方法及分选系统的技术资料

文档序号:25469272

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本申请公开了一种MEMS封装体的分选方法及分选系统,其中所述分选方法包括如下步骤:构建基于封装体位置和属性对应关系的工作地图,所述工作地图记录各所述封装体的位置信息及属性信息;对矩阵排列于薄膜上的多个彼此连接的封装体进行切割形成单个待分拣封...
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