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半导体元件的制造过程中进行自动缺陷筛选的系统技术方案
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文档序号:25403008
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一种利用自适应机器学习进行自动缺陷筛选的系统,包括了自适应模型控制器、缺陷/干扰点档案库以及用于执行资料模型化分析的模块。其中的自适应模型控制器具有前馈路径以及反馈路径,前馈路径接收晶圆检测中取得的多个候选缺陷,反馈路径接收晶圆检测后由一个...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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