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本发明公开了一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体、水冷套、进出水嘴、前后固定法兰、炉门密封圈、密封压紧法兰、工艺管密封圈、后炉门、前炉门、片舟和硅片和设备架体，设备架体的内壁通过前后固定法兰固定安装有工艺管主体，工艺管主体两端靠近设备架体...
该专利属于青岛赛瑞达电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛赛瑞达电子装备股份有限公司授权不得商用。

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