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本发明公开了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。...
该专利属于麦斯卓有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯卓有限公司授权不得商用。

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