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本公开提供了一种防着板装置，该防着板装置配置在离子注入机的离子源腔室内部底部，该防着板装置包括防着板本体，所述防着板本体具有朝向所述离子源腔室的顶部的开口，所述开口处设置有防扩散结构；所述防扩散结构用于使得所述离子源腔室内产生的颗粒落入所述...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司授权不得商用。