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一种微机电系统领域的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺仪，包括：转子、定子、挠性梁，转子由旋转驱动线圈、绝缘层、角动量层构成，而角动量层又由基体和注有金属流体的环形腔体构成。定子由基体、检测电极、反馈加矩线圈及挠性补偿静电电极...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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