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本发明涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，更具体地，涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，包括：抛光液，其包括抛光粒子；以及添加液，其包括具有酰胺键的聚合物的氮化膜抛光抑制剂。...
该专利属于斯科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯科技股份有限公司授权不得商用。

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