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晶棒专用测量平板制造技术
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文档序号:2518850
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本实用新型涉及一种测量装置,特别涉及一种晶棒专用测量平板。本实用新型平板的下部设有安装孔,所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板,平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板,平板的中间区域设有多个吸气孔。本实用新型可以增大与被测量晶棒的...
该专利属于常州松晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州松晶电子有限公司授权不得商用。
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