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表面形状测量装置及表面形状测量方法制造方法及图纸
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文档序号:2518644
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本发明为了提供一种能准确地检测工件曲面的变形的表面形状测量装置及表面形状测量方法,包括与门面板51的弯曲形状的外表面对置的激光位移计17、使激光位移计17相对门面板51的外表面沿上下方向移动的Z轴伺服电动机24、使激光位移计17沿左右方向移...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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