下载三维形状测量装置的技术资料

文档序号:2518441

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在使用白色干涉条纹测量被测量物的三维形状的三维形状测量装置(白色干涉测量装置)中,可以缩短运算所需要的处理时间,并且可以高精度地确定白色干涉条纹的振幅的包络线为最大的位置。在白色干涉测量装置中,首先对于由来自参照镜(6)的返回光和来自被测量...
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