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一种同轴度检测装置制造方法及图纸
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下载一种同轴度检测装置的技术资料
文档序号:2517942
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本发明提供一种同轴度检测装置,用于两个内孔之间的同轴度检测,支撑机构、旋转机构、定位机构以及检测机构,其中,所述定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的圆形内孔面的中心轴相同,所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴。因此,该...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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