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本发明属于表面工程制造技术领域，涉及一种纳米晶NdGaN硬质涂层及其制备方法。本发明提供的NdGaN涂层是一种纳米晶结构的超硬涂层，涂层基体的主要成分为NdN，添加相为Ga；本发明的纳米晶NdGaN硬质涂层是通过原子层沉积的方法制备。本发明...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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