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单晶硅表面处理用的制绒添加剂、制绒剂以及单晶硅表面制绒的方法技术
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文档序号:25119684
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本发明涉及单晶硅片制绒剂技术领域,公开了单晶硅表面处理用的制绒添加剂,按照重量百分比计包括:木质素磺酸钠0.01‑1.0%,聚萘甲醛磺酸钠0.0001‑0.01%,聚乙二醇0.2‑4%,二乙二醇丁醚1.5‑5%,全氟己基磺酸钾1.5‑2.5...
该专利属于杭州聚力氢能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州聚力氢能科技有限公司授权不得商用。
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