下载一种基于硅波导的全波段起偏器的技术资料

文档序号:25039190

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本发明公开了一种基于硅波导的全波段起偏器。本发明由浅刻蚀锥形渐变硅波导和浅刻蚀条形硅波导构成;所述的浅刻蚀锥形渐变硅波导包括第一浅刻蚀锥形渐变硅波导和第二浅刻蚀锥形渐变硅波导;所述的浅刻蚀条形硅波导为第一浅刻蚀条形硅波导构成;输入硅波导与第...
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