下载催化式气体传感元件、加工方法和催化式气体传感器的技术资料

文档序号:24993586

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种催化式气体传感元件,包括多孔薄膜基底、检测元件、参考元件、多孔沉积层。多孔薄膜基底的导热系数小、耐高温且绝缘;检测元件在薄膜基底上加工而成,包括检测元件加热电极、检测元件温度检测电极;参考元件在薄膜基底上加工而成,包括参考元件...
该专利属于江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。