下载测量微小压力的压力传感器及系统的技术资料

文档序号:24993075

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及测量微小压力的压力传感器及系统,主要涉及压力测量装置领域。本申请的压力传感器包括:光栅层、压电材料层、手性金属结构层和基底;由于光栅层和手性金属结构层之间的表面等离激元的共振位置受该光栅层和该手性金属结构层之间距离的影响非常敏感,...
该专利属于西安柯莱特信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安柯莱特信息科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。