下载一种先晶粒切割后双面电镀的晶粒生产方法的技术资料

文档序号:24989583

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种先晶粒切割后双面电镀的晶粒生产方法,晶粒生产方法包括以下步骤:S1:晶圆键合,晶圆的正面完成金属垫工艺后,在晶圆上形成金属层,将晶圆的正面通过粘合剂键合在环形玻璃载板上;S2:减薄、S3:中间工艺、S4:背面切割、S5:蚀刻工...
该专利属于绍兴同芯成集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴同芯成集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。