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文档序号:24965470

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压电薄膜(3)是包含金属氧化物的压电薄膜(3),其中,金属氧化物含有铋、钾、钛、铁和元素M,元素M为镁和镍中的至少一种,至少一部分金属氧化物为具有钙钛矿结构的晶体,晶体的(001)面、(110)面或(111)面在压电薄膜(3)的表面的法线方...
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