下载碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法的技术资料

文档序号:24930776

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本发明提供一种碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法,包括如下步骤:送样步骤:将放置有试样的样品台传送到溅射室,对溅射室进行抽真空;主轰击步骤:向溅射室内充入氩气,在Si靶、Zr靶和C靶加电压和电流进行轰击;镀膜步骤:开启...
该专利属于沈阳理工大学;沈阳工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳理工大学;沈阳工业大学授权不得商用。

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