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基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法制造方法及图纸
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文档序号:24925480
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本发明提供基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法,通过与基板的搬运位置联动地适当变更转移部和吸附部中至少一方的位置,可消除基板与吸附部间的非吸附区域,使划线头或断开杆与基板的上表面垂直抵接,正确形成划线,使裂纹满意地伸展,提高基板的切断质...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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