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一种激光束监控系统配置成监控入射激光束(24)的性质，所述激光束监控系统包括束分离元件(30)和多个传感器(34a‑34d)，其中所述束分离元件配置成由所述入射激光束(24)形成多个子束(24a‑24d)，第一子束被朝向所述多个传感器的第一...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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