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一种用于产生短波长辐射的高亮度LPP源和方法，所述LPP源包括：真空腔室(1)，其具有用于让激光束(7)聚焦到相互作用区域(5)中的输入窗口(6)，用于让短波长辐射束(9)出射的输出窗口(8)；旋转靶标组件(3)，其具有环形凹槽(11)；靶...该专利属于RND-ISAN有限公司;伊斯泰克私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过RND-ISAN有限公司;伊斯泰克私人有限公司授权不得商用。