下载一种高品质等离激元光学传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:24849023

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本发明涉及光学传感器技术领域,具体涉及一种高品质等离激元光学传感器及其制备方法。该传感器由下及上依次设有一基底层、一金属谐振单元和一介质层,金属谐振单元设于基底层与介质层之间,金属谐振单元下表面平滑,与基底层相接触,上表面平行设有不少于两个...
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