下载一种生长金刚石多晶膜用样品托及金刚石多晶膜生长方法的技术资料

文档序号:24842014

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本发明涉及晶体合成技术领域,具体涉及一种生长金刚石多晶膜用样品托及金刚石多晶膜生长方法,本发明的样品托顶部开设有用于放置衬底的容置槽,样品托底部设有由若干个同心圆环间隔分布形成的花纹,若干个同心圆环包括有实心圆环带和空心圆环带,本发明的样品...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。

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