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一种生长金刚石多晶膜用样品托及金刚石多晶膜生长方法技术
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文档序号:24842014
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本发明涉及晶体合成技术领域,具体涉及一种生长金刚石多晶膜用样品托及金刚石多晶膜生长方法,本发明的样品托顶部开设有用于放置衬底的容置槽,样品托底部设有由若干个同心圆环间隔分布形成的花纹,若干个同心圆环包括有实心圆环带和空心圆环带,本发明的样品...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。
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