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一种酸性蚀刻液循环再生系统技术方案
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下载一种酸性蚀刻液循环再生系统的技术资料
文档序号:24841897
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本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括电解槽(30)、循环槽(20)、氯气吸收回用塔(10);所述电解槽(30)内设有阳极区(301)和阴极区(302);所述循环槽(20)分为阳极循环区(229)、蚀刻循环区(230)和阴极循环区(2...
该专利属于长沙利洁环保科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙利洁环保科技有限公司授权不得商用。
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